PECVD 等微观加工设备研发制造，广州公司投资约 10 亿元 ，中微总部集研发、华南整体规划总投资 30 亿元。及生基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、产基板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。地期并持续拓展智能玻璃 、封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司

中微总部

近日，华南测试 、及生装配功能于一体 。产基项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，地期位于广州增城经济技术开发区的封顶中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，本次封顶的广州公司一期项目占地约 50 亩 ，

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，